::: 產業服務
*

::: 技術移轉

專利名稱 構成氣動微幫浦內凸角與斜面的補償方法
專利證號 I322926
國別 中華民國
獲證日期 20100401
專利摘要 本發明係有關於一種氣動微幫浦之光罩結構，其包含一驅動氣體噴嘴圖案、一驅動氣體導入口圖案、第一幫浦流體吸入口圖案、一第二幫浦流體吸入口圖案、一第一牽引流道圖案、一第二牽引流道圖案與一漸擴排放流道圖案；並藉由設置一第一補償圖案、一第二補償圖案、一第三補償圖案、一第四補償圖案與一第五補償圖案，以形成氣動微幫浦結構，以設置簡單的補償圖案之方式，避免流道於非等向性蝕刻時受損變形，如此可使本發明之生產成本降低，更增加本發明之使用效率。 【創作特點】 本發明之主要目的，在於提供一種氣動微幫浦之光罩結構，其係藉由設置簡單的補償圖案，以避免流道於非等向性蝕刻時受損，如此可增加本發明之使用效率。本發明之次要目的，在於提供一種氣動微幫浦之光罩結構，其係流道設計簡單，製程容易，如此可使本發明之生產成本降低。本發明之氣動微幫浦之光罩結構，其包含一驅動氣體噴嘴圖案、一驅動氣體導入口圖案、一第一幫浦流體吸入口圖案、一第二幫浦流體吸入口圖案、一第一牽引流道圖案、一第二牽引流道圖案與一漸擴排放流道圖案；驅動氣體噴嘴圖案係設於一矽晶圓片；驅動氣體噴嘴圖案具有一入口與一出口，入口之兩側分別設有一第一補償圖案，出口設有一第二補償圖案；驅動氣體導入口圖案設於矽晶圓片並與入口相連接；第一幫浦流體吸入口圖案設於驅動氣體噴嘴圖案之第一側；第二幫浦流體吸入口圖案設於驅動氣體噴嘴圖案之第二側；第一牽引流道圖案之第一端連接第一幫浦流體吸入口圖案，第一牽引流道圖案之第二端連接該驅動氣體噴嘴圖案之第一側，第一牽引流道圖案之第二端之一側設有一第三補償圖案；第二牽引流道圖案之第一端連接第二幫浦流體吸入口圖案，第二牽引流道圖案之第二端連接驅動氣體噴嘴圖案之第二側，第二牽引流道圖案之第二端之一側設有一第四補償圖案；漸擴排放流道圖案之第一端與出口相連接，且漸擴排放流道圖案之第一端與第一牽引流道圖案及第二牽引流道圖案之第二端相連接並導通，漸擴排放流道圖案之第一端之兩側分別設有一第五補償圖案；第五補償圖案與第三補償圖案相鄰，配合第六補償圖案，可在第一牽引流道圖案第二端之一側，即漸擴排放流道入口之一側，獲得較長的斜邊；第五補償圖案與第四補償圖案相鄰，配合第七補償圖案，可在第二牽引流道圖案第二端之一側，即漸擴排放流道入口之另一側，獲得較長的斜邊；漸擴排放流道內部兩側設有第八補償圖案，可沿著漸擴排放流道內部兩側獲得漸擴形狀出口的斜邊。

IPC國際分類號

G03F-001/14(2006.01)