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專利名稱 可程控電容式微泵浦
專利證號 195367
國別 中華民國
獲證日期 20040101
專利摘要 本創作『可程控電容式微泵浦系統』，為一新的創作發明，與現有的微泵浦驅動方法以及結構裝置均不相同。本創作微泵浦不需具備傳統微泵浦中的止流閥門或噴嘴的設計，推動流體的方法也有別於傳統式之微泵浦，並具備可程式化電控推動流體流向及流量控制的功能，微泵浦流體腔壁的結構亦極為單純，使得本創作具備製程簡單、可靠度高、良率高、成本低及適合量產等優點。現有微泵浦系統中，大致都包括了兩個主要的部分。其一是制動腔室(Actuating Chamber)，具有一個往復振動的薄膜(membrane)腔室以驅動流體流動，其二為止流閥門腔室部分，其功用是使往復受力的流體只流向一方。這兩部分一般都是分別製作完成，再以黏合方式將之合為一體做成微泵浦，費工耗時，良率及可靠度低。本創作電容式的微幫浦，無需要閥門及擴散口/噴嘴的結構，只需要設計一個長扁矩形微流道腔室，腔室之上下兩面(或僅上面)，覆蓋一層鍍有多個條形(柵狀)金屬電極之彈性薄膜，利用柵狀電極與腔室底部電極發生電容靜電吸引力及彈性薄膜回復力的效應，施加每一柵狀電極適當之相位差的致動電壓以驅動彈性薄膜產生數個單一方向的行進波，使得彈性薄膜藉由蠕動的方式推動流體，而使微幫浦能夠平順且有效的運作。本創作『可程控電容式微泵浦系統』，是將長扁矩形微流道腔室上每個柵狀金屬電極做適當連接，再外接已程式化之電壓，使驅動彈性薄膜產生一橫向的行進波或壓力場(Pressure field)，流體流動的方向可預先的選擇。

IPC國際分類號

B81B-003/00(2006.01);(IPC 1-7) : B81B-003/00