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專利名稱 微透鏡陣列表面輪廓檢測系統及其檢測方法
專利證號 I407078
國別 中華民國
獲證日期 20130901
專利摘要 本發明係提供一種微透鏡陣列表面輪廓檢測系統及其檢測方法，其系統係包含可微調式置放定位部、光學取像模組、光學干涉模組、中央控制部及影像處理運算模組；其中該影像處理運算模組係藉以對影像資料進行多種影像處理作業；其特點主要在於該影像處理運算模組，是透過圖形分割與面積識別的方法找出每個圓環的中心位置，而微透鏡陣列影像基底之判斷是根據圖形分割與面積識別的方法而自動找出整個微透鏡陣列干涉影像的背景，復根據實際中心圓環面積與理想中心圓環面積之比例判斷所述干涉條紋中心圓環相位角變化量，並根據實際第1區段之圓環條紋的亮度值變化量與理想第1區段之圓環條紋的亮度值變化量之比例，來判斷干涉條紋最外側基底處之圓環條紋相位角變化量，面積比例法及亮度比例法均可自由切換，選擇精確度較高之方法使用，接著找出每一區段亮度曲線之極大與極小值，分別對應到區段相位角從0度至180度時之亮度變化，再求出區段中點素之間所對應的微透鏡表面高度差；藉此，本發明能夠精確搜尋到透鏡的干涉條紋，並且精準判斷干涉條紋最內及最外的圓環相位角，達到大幅提昇微透鏡陣列表面輪廓檢測精準度與品質之優點與進步性。

IPC國際分類號

G01B-009/023(2006.01);G06T-007/60(2006.01)