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專利名稱 鋁及鋁合金濺鍍靶材及其製造方法METHOD OF MANUFACTURING AL AND AL ALLOY SPUTTERING TARGET
專利證號 I296286
國別 中華民國
獲證日期 20080501
專利摘要 本發明係一種濺鍍靶材及其製造方法，該濺鍍靶材製造方法係利用直接冷激澆鑄(Direct-Chill Casting)方式，製作各種鋁及鋁合金鑄錠，所得鋁合金鑄錠在不經後續之鍛造加工情形下，直接切削後即可獲得所需之鋁及鋁合金濺鍍靶材，具有加工程序少、量產性高、成品率高之優點，且該靶材成品晶粒小、析出物微細且成份均質。

IPC國際分類號

C23C-014/34(2006.01)