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專利名稱 圓極化微波橢圓球電漿源構造及其電漿產生方法
創作型式 發明
專利證號 TWI233761
國別 中華民國
獲證日期 2003/12/16
專利摘要 一種圓極化微波橢圓球電漿源構造及其電漿產生方法，係有關於一種電漿源裝置具有微波產生均勻電漿能力，能以高功率電磁波共振發射，藉由橢圓球體之光學反射面聚焦於一處以游離反應用氣體，及可配合圓極化電磁波之功效，提供於具均勻高密度電漿需求之應用場所，其較昔知之電漿源相比所生之電漿品質良好，且可取代傳統電漿源；其包含：本體，係中空橢圓殼形，內表面設有光學反射面；微波源，係設於該本體之橢圓內部之第一焦點；及電漿生成裝置，係設於該本體之橢圓內部之第二焦點。

IPC國際分類號

H05H000100
聯絡人 王淳右
電話 #329655
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