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專利名稱 以光學干涉術校準單點鑽石車床真空夾頭與工件之軸心的裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI257337
國別 中華民國
獲證日期 2004/11/19
專利摘要 本發明係有關一種以光學干涉術校準單點鑽石車床真空夾頭與工件之軸心的裝置，係包括一干涉光路產生裝置，其至少具有一分光鏡、一參考窗鏡及一顯示元件；而一圓柱側表面則與此參考窗鏡間具有一氣楔；此干涉光路產生裝置係產生一第一光束及一第二光束，此第一光束係經此參考窗鏡反射而抵達此顯示元件；此第二光束係經此圓柱側表面反射而抵達此顯示元件，並利用此第一光束及此第二光束產生干涉圖形，顯示於此顯示元件上，如此達到兼具非接觸式校準及奈米級校準。

IPC國際分類號

B23Q001724
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