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專利名稱 薄片窗型柵狀複合壓電陶瓷元件結構及其製造方法
創作型式 發明
專利證號 TWI258880
國別 中華民國
獲證日期 2004/12/03
專利摘要 一種薄片窗型柵狀複合壓電陶瓷元件結構及製造方法，其結構特微為：以上下軟質基板、導電板、貼合膠層與一窗型柵狀壓電元件薄片貼合而成之複合壓電元件結構。其製程方法包含以未燒結之壓電陶瓷胚片做厚度積疊、經金屬電極網印、胚片窗型柵狀結構砍切加工、陶瓷金屬平坦化共燒、複合結構熱壓貼合與薄片壓電極化等製程以完成薄片窗型柵狀壓電複合結構元件製作。此結構元件是針對傳統薄片壓電陶瓷元件材質易脆之缺點，以複合結構做薄片元件強化與保護；並利用窗型柵狀壓電薄片結構設計，提升結構元件更佳之彎曲可撓性。

IPC國際分類號

H01L0041187
聯絡人 王淳右
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