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專利名稱 壓電式低應力拋光裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI270131
國別 中華民國
獲證日期 2005/09/29
專利摘要 一種壓電式低應力拋光裝置，包括一振動板、多個壓電元件、多個驅動電路以及一研磨墊。其中，振動板具有第一表面以及第二表面，而壓電元件係配置於第一表面，且其中兩個壓電元件係位於振動板的相對兩側。此外，驅動電路分別與其所對應的壓電元件電性連接，且驅動電路適於提供其所對應之壓電元件一電壓，使壓電元件變形因而帶動振動板產生一振動。另外，研磨墊係配置於振動板之第二表面。

IPC國際分類號

H01L0021302
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f542frank@ncsist.org.tw