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專利名稱 透明導電薄膜及其製造方法
創作型式 發明
專利證號 TWI297361
國別 中華民國
獲證日期 2004/04/26
專利摘要 一種透明導電薄膜及其製造方法，其中的方法係藉由一間歇式低溫濺鍍製程於一可撓性透明基材上沉積一透明導電薄膜，而所得透明導電薄膜為非晶質氧化銦錫薄膜，且所得片電阻較傳統連續式製程所得為低。

IPC國際分類號

C23C001412
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f718frank@ncsist.org.tw