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專利名稱 構成氣動微幫浦內凸角與斜面的補償方法
創作型式 發明
專利證號 TWI322926
國別 中華民國
獲證日期 2006/07/21
專利摘要 本發明係有關於一種氣動微幫浦之光罩結構，其包含一驅動氣體噴嘴圖案、一驅動氣體導入口圖案、第一幫浦流體吸入口圖案、一第二幫浦流體吸入口圖案、一第一牽引流道圖案、一第二牽引流道圖案與一漸擴排放流道圖案；並藉由設置一第一補償圖案、一第二補償圖案、一第三補償圖案、一第四補償圖案與一第五補償圖案，以形成氣動微幫浦結構，以設置簡單的補償圖案之方式，避免流道於非等向性蝕刻時受損變形，如此可使本發明之生產成本降低，更增加本發明之使用效率。

IPC國際分類號

G03F000114
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