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專利名稱 高純度氮化鋁製造方法METHOD FOR MAKING A PURE ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE
創作型式 發明
專利證號 TWI450855
國別 中華民國
獲證日期 2011/08/04
專利摘要 一種高純度氮化鋁製造方法，係取氮化鋁加入抗水氣材料及粘黏劑，並以造粒製程將該氮化鋁材料製成球狀顆粒，將氮化鋁球狀顆粒以鋼模油壓成型出一氮化鋁塊狀體，將塊狀體進行冷均壓處理，且以低溫方式去除塊狀體中之抗水氣材料及粘黏劑，再將塊狀體置於一爐體中，並填入氮化硼粉末與氮氣進行燒結，製成一高純度氮化鋁。藉此，可製出純度高且品質優良之晶圓級氮化鋁基板，以應用於LED照明產品，而達到製程簡化、提升產品良率以及有效散熱之功效。

IPC國際分類號

C01B0021072
聯絡人 王淳右
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