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專利名稱 氮化鋁碳素除氧法METHOD FOR REMOVING OXYGEN FROM ALUMINUM NITRIDE BY CARBON
創作型式 發明
專利證號 TWI531528
國別 中華民國
獲證日期 2011/08/04
專利摘要 一種氮化鋁碳素除氧法，係提供一溫控爐，將氮化鋁基板設於溫控爐中，並將氮氣導入溫控爐中形成氮氣氣氛，使溫控爐升溫至氮化鋁基板之變相溫度後，停止加溫使溫控爐進行退火，並於退火過程中將碳素導入溫控爐，而使溫控爐與氮化鋁基板內之氧成分與碳素在高溫狀態反應形成一氧化碳或二氧化碳並隨氮氣排出溫控爐，如此，即可得到高純度之氮化鋁基板。藉此，可使溫控爐於碳素與氮氣條件下進行退火過程，且利用碳素將氧成份於高溫狀態下反應成氧化碳或二氧化碳，進而製成純度佳以及品質良好之氮化鋁基板。

IPC國際分類號

B01D000500
聯絡人 王淳右
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