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專利名稱 氮化鋁製造方法METHOD FOR MAKING A PURE ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE
創作型式 發明
專利證號 TWI447067
國別 中華民國
獲證日期 2011/08/04
專利摘要 一種氮化鋁製造方法，係將氮化鋁粉末與碳化材混合，而形成氮化鋁混合材料，且以造粒製程將該氮化鋁混合材料製成氮化鋁混合粉體，並取氮化鋁混合粉體進行燒結，待燒結至適當溫度時，該氮化鋁混合粉體中之碳化材便與氧結合形成氣相之含碳化合物排出，而製成一氮化鋁基板。藉此，可於氮化鋁基板製作前先將氮化鋁粉末與碳化材混合，以利用碳化材本身極佳之熱分散穩定性質，增加燒結過程之熱均勻性，而可製出純度高且品質優良之晶圓級(大尺寸)氮化鋁基板，而達到有效提升氮化鋁基板之產品良率。

IPC國際分類號

C01B0021072
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f848frank@ncsist.org.tw