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專利名稱 尖晶石鎳鈷氧化物靶材之製造方法
創作型式 發明
專利證號 TWI476291
國別 中華民國
獲證日期 2012/12/17
專利摘要 本發明係為一種尖晶石鎳鈷氧化物靶材之製造方法，係藉由尖晶石鎳鈷氧化物(NiCo 2 O4 )添加鹼金屬離子，係藉由鹼金屬離子之助熔特性，改善靶材的緻密性，因此添加鹼金屬離子，可達到靶材燒結緻密性的提升效果，製備出高緻密化之靶材材料。

IPC國際分類號

C23C001434
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f911frank@ncsist.org.tw