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專利名稱 提升硒化物薄膜成長品質之蒸鍍裝置EVAPORATION APPARATUS WITH IMPROVED SELENIUM COMPOUND FILM GROWING QUALITY
創作型式 發明
專利證號 TWI485276
國別 中華民國
獲證日期 2013/12/05
專利摘要 本發明為一種可改善硒化合物薄膜蒸鍍製程所產生結晶性不佳問題的裝置。傳統的硒噴發蒸鍍源產生的硒蒸氣極易形成分子團，因此在進行銦鎵硒三元素的共蒸鍍時，難以避免產生多晶向銦鎵硒化合物薄膜，本發明即提供一種成長高品質硒化合物薄膜的裝置，從而得到緻密性高、膜面平坦且單一晶向的高品質銦鎵硒化合物薄膜，以提升薄膜的穩定性並得運用至高品質之CIGS太陽能電池。

IPC國際分類號

C23C001424
聯絡人 王淳右
電話 #329655
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