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專利名稱 氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷製備方法
創作型式 發明
專利證號 TWI475638
國別 中華民國
獲證日期 2013/11/29
專利摘要 本發明係提供一種氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷製備方法，該方法係包含以下步驟：提供第一層氮化鋁生片進行刮刀成型、落料；該第一層氮化鋁生片之一面進行網版印刷金屬電極，其中該金屬之油墨配方主成分以高熔點之金屬為主；提供第三層氮化鋁生片之一面疊層於該第二層之金屬電極上；以低溫低壓方式將第一層氮化鋁生片、第二層金屬電極及第三層氮化鋁生片之異質陶瓷層壓成型；該層壓成型之異質陶瓷以一燒結溫度曲線進行共燒，製得氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷，可減少金屬電極與氮化鋁陶瓷之間的燒結收縮比例差異，進而提升金屬電極與氮化鋁生片之間的界面強度與均勻附著性。

IPC國際分類號

C04B003564
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f986frank@ncsist.org.tw