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專利名稱 雷射光斑絕對定位驅動裝置、驅動系統及其方法ACTUATING APPARATUS, ACTUATING SYSTEM AND METHOD FOR ACTUATING A WORKING STAGE TO MOVE RELATIVE TO A PLATFORM WITH HIGH-PRECISION POSITIONING CAPABILITY
創作型式 發明
專利證號 TWI448855
國別 中華民國
獲證日期 2012/03/15
專利摘要 一種雷射光斑絕對定位驅動裝置，其包括一與一底板剛性結合之馬達驅動模組、一由該馬達驅動模組驅動而與該底板相對移動之工作平台、一與該工作平台剛性結合並能夠擷取底板光斑影像參考底板區中光斑取像區之光斑影像之光斑取像模組、以及一操作在一定位模式下之控制模組，其中該控制模組係控制該光斑取像模組擷取該工作平台所在位置之光斑影像參考底板區之即時光斑影像，並將該即時光斑影像與一參考座標光斑影像資料庫之參考座標光斑影像間之比較，取得該即時光斑影像之即時位置座標，再將該即時位置座標與一目標位置座標相比，取得一誤差向量，該控制模組依據該誤差向量推動該馬達驅動模組，使該工作平台到達該目標位置座標。

IPC國際分類號

G05B0019402
聯絡人 王淳右
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