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專利名稱 蒸鍍裝置
創作型式 新型
專利證號 TWM496650
國別 中華民國
獲證日期 2014/09/22
專利摘要 本創作係提供一種蒸鍍裝置，係使用一字型排列配置之複數帆形蒸鍍噴嘴，將鍍料以均勻分布輸送至基材表面，帆形蒸鍍噴嘴之流道構型可有效控制鍍料分子的運動模式與數量，大幅提升能源效率，並透過組合多個蒸鍍噴嘴的方式，進行大面積的蒸鍍。

IPC國際分類號

C23C001424
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1017frank@ncsist.org.tw