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專利名稱 一種移動式定頻高週波加熱溫控裝置
創作型式 新型
專利證號 TWM499732
國別 中華民國
獲證日期 2014/10/30
專利摘要 本創作一種移動式定頻高週波加熱溫控裝置，可成長品質較高的單晶晶體，移動式加熱線圈透過平台支架、滾珠螺桿與步進馬達的移動機構，滾珠螺桿精密的機械定位與傳動，以及步進馬達高精度的驅動與定位，產生細微可移動的溫度梯度，配合高週波加熱功率、溫度量測、壓力量測、氣體濃度等參數，由控制系統控制高週波加熱線圈移動速率，隨著晶體成長維持穩定的溫度梯度，提升長晶製程品質。

IPC國際分類號

H05B000648
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1029frank@ncsist.org.tw