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專利名稱 均勻熱處理裝置
創作型式 新型
專利證號 TWM504353
國別 中華民國
獲證日期 2014/10/28
專利摘要 本創作係提供一種均勻熱處理裝置,係藉由加熱裝置與基板間的二維方向往復移動,改善太陽能電池卷對卷熱處理製程中,燈泡式加熱裝置加熱不均勻之缺點,可使輻射熱通量均勻化,提高產品良率。

IPC國際分類號

H01L0031024
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1052frank@ncsist.org.tw