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專利名稱 可量化固態物質蒸鍍量之裝置及其方法
創作型式 發明
專利證號 TWI586823
國別 中華民國
獲證日期 2016/11/25
專利摘要 本發明提供一種可量化固態物質蒸鍍量之裝置及其方法，係於與一反應腔室透過一管路連接之一加熱腔體內部，設置欲鍍固態物質、加熱源及荷重元，透過加熱源加熱欲鍍固態物質使之蒸發形成反應氣體而對反應腔室內之一基材進行鍍膜，且荷重元供以承載與偵測欲鍍固態物質之重量，並欲鍍固態物質於單位時間內減少之重量係與反應氣體之質量流量相等，因此可由重量即時了解反應氣體之狀態，且當欲鍍固態物質加熱至蒸發狀態而形成反應氣體時，係於加熱腔體達到大於反應腔室內一真空背景壓力之一飽和蒸氣壓力，使反應氣體可沿該管路持續穩定地流往反應腔室，進而製備具極佳成分均勻性之高品質薄膜。

IPC國際分類號

C23C001424
聯絡人 王淳右
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