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專利名稱 多鍍材線性蒸鍍裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI691609
國別 中華民國
獲證日期 2016/12/30
專利摘要 本發明提供一種多鍍材線性蒸鍍裝置，包括一主坩鍋、一次坩鍋、複數鍍材加熱器及一蒸鍍腔體。主坩鍋及次坩鍋之內壁與外壁係夾設形成夾層，並於夾層填充有熱媒介質，主坩鍋供以承載一第一鍍材，次坩鍋供以承載一第二鍍材；鍍材加熱器供以透過熱媒介質均勻加熱第一鍍材及第二鍍材；蒸鍍腔體設於主坩鍋及次坩鍋一側並具有一線性蒸鍍口，且內部具有供以導入第二鍍材蒸氣之一導流空間，與供以導入第一鍍材蒸氣之一加熱空間，蒸鍍腔體對應加熱空間設有一蒸鍍加熱器，以使加熱空間之溫度高於導流空間之溫度，並第一鍍材之蒸氣與第二鍍材之蒸氣係一併自線性蒸鍍口向外流出進行蒸鍍，藉此以有效提高鍍材使用率及製備薄膜的均勻性。

IPC國際分類號

C23C001406
聯絡人 王淳右
電話 #329655
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