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專利名稱 一種結合電子束與區域熔煉的真空精煉爐裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI626339
國別 中華民國
獲證日期 2016/12/23
專利摘要 一種結合電子束與區域熔煉的真空精煉爐裝置，包括：一精煉爐本體；一第一真空腔體；一電子束單元，設置於該第一真空腔體內上方區域，係用以提供電子束；一坩堝，設置於該電子束單元下方；一第二真空腔體，設置於該第一真空腔體下方區域，利用一真空閥門管控與該第一真空腔體連結的通道；一區域熔煉熱源，設置於該第二真空腔體內上方區域，係用以提供熱源；一拉錠載台，設置於該坩堝下方，以上下移動方式通過第一真空腔體與第二真空腔體連結的通道。藉此，可將一次精煉後的晶棒再以區域熔煉的方式，分離雜質於柱錠頂端，以得到高品質難熔金屬的純化材料。

IPC國際分類號

C22B000904
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1189frank@ncsist.org.tw