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專利名稱 流體均佈裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI623052
國別 中華民國
獲證日期 2016/12/02
專利摘要 本發明係提供一種流體均佈裝置,係在長管型流體承載單元外套設一可旋轉之套管,利用該套管旋轉塗佈結合基板往復移動之二維方向控制,達到兩軸之線性均勻化所構成之大面積均勻塗佈。

IPC國際分類號

B05C001102
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1193frank@ncsist.org.tw