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專利名稱 卷軸式大氣電漿鍍膜及硒化整合系統
創作型式 新型
專利證號 TWM543466
國別 中華民國
獲證日期 2016/12/16
專利摘要 本創作係提供一種用於CIGS太陽電池製程之卷軸式大氣電漿鍍膜及硒化之整合系統，係以卷軸式(Roll to Roll,R2R)輸送單元輸送軟性基板，本創作之卷軸式大氣電漿鍍膜及硒化整合系統可對該軟性基板進行鍍硒以及加氫硒化之整合製程，相較於前案技術，本創作具有生產效率高、硒化效能佳之優點。

IPC國際分類號

H01L003118
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1199frank@ncsist.org.tw