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專利名稱 一種製備球形氮化矽粉體的方法
創作型式 發明
專利證號 TWI646045
國別 中華民國
獲證日期 2017/12/05
專利摘要 一種製備球形氮化矽粉體的方法，步驟包括：(A)提供一二氧化矽粉體與一碳源，將該二氧化矽粉體與該碳源分散溶解於一溶劑中，形成一混合漿料；(B)將該混合漿料進行噴霧造粒，形成一球形粉體；(C)將該球形粉體於氮氣氣氛下進行碳化處理，形成一碳化球形粉體；(D)將該碳化之球形粉體於氮氣氣氛下進行碳熱還原氮化反應，形成一球形氮化矽粉體；(E)將該球形氮化矽粉體於大氣下進行除碳，形成一高純度球形氮化矽粉體。本發明藉由結合原料混合、噴霧造粒、碳化處理、碳熱還原氮化反應、脫碳等步驟，所製備球形結構之氮化矽粉體具有較佳的粉體流動性，可提升模造成型後的塊材緻密性與真密度。

IPC國際分類號

C01B0021068
聯絡人 王淳右
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