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專利名稱 一種製備多晶系氮化鋁高反射鏡之方法
創作型式 發明
專利證號 TWI656231
國別 中華民國
獲證日期 2017/12/05
專利摘要 一種製備多晶系氮化鋁高反射鏡之方法，步驟包括：(A)提供一表面拋光之多晶系氮化鋁基板，利用磁控濺鍍設備以鋁靶材與氮氣、氬氣所形成之電漿於該基板表面反應生成一氮化鋁薄膜，以填補該基板表面晶格缺陷所產生之孔洞間隙；(B)將該氮化鋁薄膜進行表面減薄及研磨拋光，以平坦化該氮化鋁基板；(C)於該氮化鋁薄膜上，利用真空鍍膜設備製作一鋁鍍層；(D)於該鋁鍍層上，利用真空鍍膜設備製作一銀鍍層；(E)於該銀鍍層上，製作一表面保護層。藉此，透過簡便的製程製備出有散熱需求的氮化鋁反射鏡，且反射波段可涵蓋近紫外光、可見光及紅外光波段，以製備出符合業界需求的高功率放光模組反射鏡。

IPC國際分類號

C23C001402
聯絡人 王淳右
電話 #329655
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