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專利名稱 一種應用於濺鍍靶槍上之加熱載台裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI641712
國別 中華民國
獲證日期 2017/12/04
專利摘要 一種應用於濺鍍靶槍上之加熱載台裝置，包括：一加熱載台，係用以加熱濺鍍靶材，以控制濺鍍靶材溫度；一磁力元件，係用以產生磁場；一隔熱元件，設置於該加熱載台與磁力元件間；一冷卻系統，係用以冷卻該磁力元件；藉此，利用此應用於濺鍍靶槍上之加熱載台裝置，可降低靶材內的材料鍵結強度，降低濺鍍產物的粒子大小，成長出高品質的均勻薄膜。

IPC國際分類號

C23C001435
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1248frank@ncsist.org.tw