::: 產業服務
*

::: 技術移轉

專利名稱 單片式玻璃基板之硒硫化製程設備
創作型式 發明
專利證號 TWI599067
國別 中華民國
獲證日期 2015/11/20
專利摘要 本案係揭露一種單片式玻璃基板之硒硫化製程設備，透過二個腔體分別對玻璃基板快速加熱及硒/硫化，一方面可以避免該玻璃基板長時間處於軟化點之上之持溫溫度，也可以依製程之需求提高薄膜硒/硫化溫度以降低持溫硒/硫化的時間，達到節能省時之功效；藉由使該玻璃基板於在該等腔體中來回往復運動，以達到該玻璃基板各處的溫度更為均勻；且在進行硒/硫化作業時能使硒/硫化氣體更均勻的分佈於該玻璃基板；再者，回收之液態硒/硫及惰性氣體可再次利用，進而降低材料成本。

IPC國際分類號

H01L003118
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1347frank@ncsist.org.tw