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專利名稱 一種均勻碳化矽晶體製備裝置
創作型式 發明
專利證號 TWI723650
國別 中華民國
獲證日期 2019/11/26
專利摘要 本發明提供一種均勻碳化矽晶體製備裝置，該均勻碳化矽晶體製備裝置可包含一圓筒、一摻雜錠、一平板，藉此可穩定且控制摻雜劑的提供，此配件不參與成長腔內反應，但在成長過程中維持其功效，最終可以得到半絕緣且電性均勻的碳化矽單晶。

IPC國際分類號

C30B001314
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1438frank@ncsist.org.tw