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專利名稱 多震動源研磨腔體
創作型式 發明
專利證號 TWI716207
國別 中華民國
獲證日期 2019/11/27
專利摘要 本發明係提供一種多震動源研磨腔體，係於研磨腔體內加入多個超音波震動源，多震動源可達成控制介質巨觀的流(移)動方向，有利震動介質進入待處理件之細微特徵結構，並使磨料自身產生微幅震動，增加磨料與待磨工件研磨效能。

IPC國際分類號

B02C001918
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1442frank@ncsist.org.tw