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專利名稱 氮化鋁陶瓷基板表面改質的方法
創作型式 發明
專利證號 TWI698553
國別 中華民國
獲證日期 2019/10/15
專利摘要 本發明為一種氮化鋁陶瓷基板表面改質的方法，採用濺鍍與有機物化學氣相沉積法(MOCVD)製程進行多晶氮化鋁陶瓷基板之表面改質。藉此，以MOCVD的方式分兩階段溫度進行磊晶成長氮化鋁層，可使多晶相氮化鋁陶瓷基板之表面形成類單晶相之氮化鋁材料結晶相，並降低多晶相氮化鋁陶瓷基板之表面粗糙度。

IPC國際分類號

C04B0035581
聯絡人 王淳右
電話 #329655
EMAIL f1448frank@ncsist.org.tw