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專利名稱 狹縫式塗佈模具之鋸齒型夾片裝置
專利證號 M428500
國別 中華民國
獲證日期 20120501
專利摘要 一種狹縫式塗佈模具之鋸齒型夾片裝置,其包含一上游側板;一與上游側板對應結合之下游側板,且該下游側板與上游側板對應之一面上係設有分別呈半圓型之主腔室與副腔室;以及一設於上游側板與下游側板間之調整夾片,該調整夾片係具有與主腔室對應之鋸齒部。藉此,可運用於CIGS薄膜太陽能電池吸收層製程上,作為狹縫式塗佈使用,而利用下游側板上呈半圓型之主腔室與副腔室使得塗液流至狹縫噴嘴時能均勻塗出,且利用調整夾片之鋸齒部使塗液注入主腔室後和緩其壓力,以獲得等同壓力之塗液,使塗液以等距均勻分佈方式流入,並均勻的往狹縫出口塗出均勻之膜厚,而達到具有流速與壓力平均分佈之功效。

IPC國際分類號

H01L-031/042(2006.01);B05C-009/04(2006.01)