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專利名稱 超音波低應力精密拋光系統
專利證號 I275442
國別 中華民國
獲證日期 20070311
專利摘要 本發明係有關於一種超音波低應力精密拋光系統,包含有:一研磨刀具,具有一長條狀金屬板,兩面排列設有多數壓電片,其中,該金屬板兩面之壓電片係彼此交錯設置,同一面的壓電片彼此間相隔預定距離,且該等壓電片係由一絕緣膠體包封於內;一研磨墊,貼置於該絕緣膠體;二壓電驅動器,設置於該金屬板兩端,將該等壓電片驅動至超音波狀態,藉以使該研磨墊產生超音波之細微振動;藉此,可利用超音波之細微激振原理,產生行波或駐波而以極低的作用力作用於晶圓上,可適用於低介電常數整合銅金屬製程之拋光需求。

IPC國際分類號

B24B-001/04(2006.01)