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專利名稱 一種補償式化學機械研磨機平坦化的方法及裝置
專利證號 136239
國別 中華民國
獲證日期 20010616
專利摘要 本發明提供一種補償式化學機械研磨機平坦化的方法及裝置,本發明使用一個或多個研磨墊載體,於平坦化製程中,對晶圓施壓作為補償性研磨,以解決研磨過程中之凹陷(Dishing)或磨蝕(Erosion)的情況,並此具補償作用的裝置可與主研磨裝置同時運作,減少所研磨晶圓之非均勻性,並實現平坦化的目地;再者,本創作所提供之多研磨載體,更可達成減少機台面積,降低操作成本。

IPC國際分類號

B24B-007/24(2006.01);B24B-037/04(2006.01);H01L-021/304(2006.01);(IPC 1-7) : B24B-007/24;B24B-037/04;H01L-021/304