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專利名稱 判斷研磨漿液中研磨粒子分散狀況之方法
專利證號 I373803
國別 中華民國
獲證日期 20121001
專利摘要 本發明提供一種判斷研磨漿液中研磨粒子分散狀況之方法,其步驟包括:(1)以一均質設備讓研磨漿液中之研磨粒子分散;(2)持續測定該研磨漿液之剪切應力(shear stress)及剪切速率(shear rate);(3)依據該剪切應力(shear stress)及該剪切速率(shear rate)製作之一流性圖,其符合搖溶性流體(Thixotropic流體)之流性圖或抗流變流體(Rheopectic流體)之流性圖;及(4)觀察該流性圖所形成之一區域面積大小,即所產生之磁滯現象大小,以判定該研磨漿液中該研磨粒子之分散狀況。本發明能判斷化學機械研磨漿中研磨粒子之分散狀況,以提高研磨漿液的品質,並可監控研磨漿液儲存期間是否已有變質現象。

IPC國際分類號

H01L-021/304(2006.01);C09K-003/14(2006.01)