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::: 研發成果

論文

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【年度】98 年研發成果
【項目】 論文
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 生醫材化
計畫名稱 特用金屬材料應用研究發展三年計畫
論文名稱 摻雜氧化鋁之氧化鋅靶材製作與分析
論文類型 研討會
發表處 2009材料年會
發表人 彭峻彥, 劉原安, 田志盛, 施議森, 王尉霖, 張立, 魏肇男, 薄慧雲
發表日期 98/11/25
國家 國內
內容摘要 濺鍍用之氧化鋅靶材可?用陶瓷灌漿法製備製作，具有大面積、大?生產、成本低?等優點，本研究評估灌漿法靶與一般商用粉末燒結靶之特性差?，X 光繞射與電子顯微鏡之結果顯示，灌漿靶具有較大之晶?尺寸，其沉積之透明導電薄膜之電阻?可達到10-3?.cm，且仍維持80%以上可?光穿透?，但是灌漿靶有ZnAl2O4 結晶相存在時，則氧化鋅薄膜品質較商用粉末燒結靶所鍍之薄膜差。