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::: 研發成果

專利權

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【年度】98 年研發成果
【項目】 專利權
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫
專利名稱 靜電吸附加熱玻璃基板承載平台
發明人 戴涪;黃重鈞;蘇俊傑; 余孟泉;林銘俊; 林炎增;曾文煥
國家 中華民國
性質 新型
技術摘要 本創作揭露一種靜電吸附加熱玻璃基板承載平台，用以對玻璃基板進行電漿反應沉積製程。電漿反應沈積裝置包含腔體以及承載平台。承載平台設置於腔體內。承載平台包含加熱模組以及吸附模組。加熱模組用以提供熱能，並且吸附模組設置於加熱模組上。吸附模組包含電路板以及絕緣薄膜。絕緣薄膜形成於電路板上，用以供玻璃基板放置。其中當玻璃基板放置於絕緣薄膜上時，電路板係透過該絕緣薄膜對玻璃基板產生靜電吸附效應，進而使得玻璃基板吸附於絕緣薄膜上，加熱模組隨即將熱能經由吸附模組傳導至玻璃基板。
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