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專利權
【年度】101
年研發成果
【項目】
專利權
【領域】
關鍵技術科專
【類別】
機電運輸
| 計畫名稱 | CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫 | | 專利名稱 | 一種用於低溫化學溶液合成製作硫化物半導體薄膜的裝置 | | 發明人 | 駱榮富,劉于菁,吳忠衛,何仁翔,林瑤冷,項裕德 | | 國家 | 中華民國 | | 性質 | 新型 | | 技術摘要 | 藉由三組步進馬達移動平台的控制可使製程載台進行三維方向的運動，如此可將反應溶液以陣列方式排列，大幅縮短製程行程，提升連續離子吸附法製程製備硫化物薄膜薄膜製程效率，同時本創作並以光收發模組、電磁水閥、去離子水輸入管路及溢流水輸出管路等組成去離子水自動換補結構，使製程中清洗試片的去離子水保持良好潔淨度，以提升薄膜製程品質。 | | 聯絡人姓名 | |
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