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::: 研發成果

專利權

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【年度】101 年研發成果
【項目】 專利權
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 生醫材化
計畫名稱 高值化學品技術開發與應用四年計畫
專利名稱 判斷研磨漿液中研磨粒子分散狀況之方法
發明人 何潛淵、林材峰
國家 中華民國
性質 發明
技術摘要 本發明提供一種判斷研磨漿液中研磨粒子分散狀況之方法，能判斷化學機械研磨漿中研磨粒子之分散狀況，以提高研磨漿液的品質，並可監控研磨漿液儲存期間是否已有變質現象。
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