*

::: 研發成果

研究報告

* *
【年度】98 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 生醫材化
計畫名稱 特用金屬材料應用研究發展三年計畫
報告名稱 B4C抗輻射塗層研究
撰寫人 楊振
性質 研究
內容摘要 本研究採用真空電漿噴塗於鋁基板上進行B4C塗層製作，成功獲得厚度260μm~270μm、孔隙率為6.15%、表面粗糙度Ra3.43μm、水平於塗層方向knoop硬度Hkpp1337kg/mm2及垂直於塗層方向之knoop硬度Hkpv1114kg/mm2之B4C塗層。經計算後水平於塗層方向彈性模數為144.3Gpa，垂直於塗層方向之彈性模為128.6Gpa。品質符合半導體乾蝕刻製程中上反應艙之要求。