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::: 研發成果

研究報告

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【年度】98 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 光電感測辨識模組與應用技術計畫
報告名稱 微光電元件設計製作研究期中報告
撰寫人 楊錫杭 /教授
性質 研究
內容摘要 本研究以建立光學陣列微型透鏡母片製作、結合光刻微影與熱重流(thermal reflow)製程，開發陣列微型透鏡設計製程技術為主題。利用光刻微影製程定義出微透鏡之體積，再以熱重流法促使體積形狀之轉變，運用微尺度下表面張力作用，提升內聚力促成微結構流變，完成透鏡曲面之成型，而透鏡頂端也會因熱熔法而成球狀，已完成透鏡之形狀直徑為20um、直徑250um及直徑300um之微透陣列。