*

::: 研發成果

研究報告

* *
【年度】98 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 電資通光
計畫名稱 光電感測辨識模組與應用技術計畫
報告名稱 光斑感測元件研究期中報告
撰寫人 李欣縈/助理教授
性質 研究
內容摘要 本計畫製作850nm波段的光感測元件，所選取的元件吸收層材料是砷化鎵(GaAs)，所製作的砷化鎵感測器主要是以金屬-半導體光偵測器結構為主，首先設計光檢測器之元件結構，接著完成元件之製程及特性量測，並於元件製作過程中，先研究試片表面經不同化學溶液(None,BOE,HC1 and NH4OH)處理試片表面，接著再利用硫化處理及氯氣處理，以降低試片表面之缺陷，進而改善感測元件特性，最後於元件完成後再利用光電化學氧化法對元件表面成長鈍化層，以降低元件的暗電流及提升元件的穩定性。