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::: 研發成果

研究報告

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【年度】100 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫
報告名稱 高密度電漿沉積設備系統與模組技術期末報告
撰寫人 李晉承
性質 技術
內容摘要 本研究計畫著眼於ECRCVD未來的發展潛力，希望在全球量產技術成熟前提前開始研發工作。本計畫針對具有大面積均勻沉積優勢的ECRCVD(Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition)關鍵高密度電漿源組進行研究，開發製作適合於氫化非晶、微晶矽薄膜沉積的ECRCVD系統關鍵之電漿源模組設計。