::: 科技專案

::: 研發成果

計畫名稱	醫用數位X光系統開發計畫
報告名稱	摻雜物對閃爍體影像品質的改善研究期中報告
撰寫人	謝輝煌
性質	技術
內容摘要	目前本研究計畫的進度已進行CsI共摻雜Tl與Rb、Tl與Cu，CsI摻雜In、Rb及Na薄膜在Si(001)基板成長及螢光發光PL量測。目前PL的結果顯示CsI共摻雜Tl與Rb、Tl與Cu的亮度遠高於CsI單獨摻雜Tl薄膜。CsI共摻雜Tl與Rb在波長5110 Ǻ 的PL亮度比CsI單獨摻雜Tl薄膜提高50%，而CsI共摻雜Tl與Cu的則提高約30%，初步結果仍需重覆驗證其可重覆性。CsI摻雜In、Rb及Na薄膜的PL亮度則遠低於CsI摻雜Tl的亮度。雖然結果仍不理想，但其發光波長相近、鍵結結構相近且因其無毒性，在薄膜成長技術及參數改進下，仍有增加其PL亮度的可能性。另外對CsI摻雜Eu及Cu 的薄膜進行了延伸X-光吸收精細結構分析 (EXAFS)，以了解鍵長隨Eu及Cu濃度變化。另外對於CsI薄膜防潮封裝進行研究，並以真空製程防水性進行聚對二甲苯Parylene C對於CsI薄膜防潮封裝，目前的量測顯示初步達成聚對二甲苯Parylene在CsI薄膜防潮封裝。本研究計畫的後半年進度將進一步驗證CsI共摻雜Tl與Rb、Tl與Cu薄膜亮度的可靠性及掌握其最佳成長參數。並對其它摻雜物對CsI薄膜的成長技術及發光特性進行進一步的研究。期能成長出高亮度及無毒性閃爍體薄膜，以改善其影像品質。