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::: 研發成果

研究報告

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【年度】101 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 綠色產業用金屬材料應用研究發展計畫
報告名稱 高純度Ta靶材製程技術開發研究
撰寫人 魏肇男
性質 技術
內容摘要 本研究報告係針對自製鉭靶材開發之過程進行詳細之敘述，作為未來本組進行相關靶材開發之參考。