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::: 研發成果

研究報告

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【年度】102 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫
報告名稱 卷軸薄膜(Mo/CIGS)切片後之殘留應力分析
撰寫人 邱垂鈺
性質 技術
內容摘要 進行切片後的薄膜殘留應力分析，探討薄膜的應力安全性，研判目前採用的製程参數是否適當。分析結果如下：(1)在目前的製程參數下，薄膜切片後基板的殘留熱應力為4.8kgf/mm2，可以滿足應力安全需求，CIGS的殘留熱應力為-18.2kgf/mm2，鉬膜的殘留熱應力為-167.7kgf/mm2，鉬膜的殘留熱應力遠大於CIGS與基板的殘留熱應力，因目前尚缺鉬膜及CIGS的強度資料，無法研判鉬膜及CIGS的應力安全性。 (2)除了殘留熱應力以外，CIGS凝結及再結晶均會引致殘留應力，本文同時推導此三種機制產生的殘留應力公式解，驗證例顯示公式解雖存在簡化所衍生的誤差，唯公式解仍具有相當的準確性。