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::: 研發成果

研究報告

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【年度】102 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 綠色產業用金屬材料應用研究發展計畫
報告名稱 氧化釔介電塗層
撰寫人 楊振
性質 技術
內容摘要 本研究採用大氣電漿噴塗於鋁基板上進行氧化釔塗層製作，成功獲得厚度260μm~270μm、孔隙率為3.15%、最大孔洞直徑8.6μm、表面粗度Ra4.23μm、塗層鍵結強度3.65kgw/mm2、崩解電壓及絕緣阻抗分別為21.7V/μm及6.11MW/μm，同時於6%的鹽酸下浸泡24小時無發現任何腐蝕現象，塗層品質遠超過半導體製程設備介電塗層之要求。