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::: 研發成果

研究報告

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【年度】99 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫
報告名稱 整合超精密印製及快速熱處理設備開發可行性評估報告
撰寫人 張存續
性質 技術
內容摘要 本篇報告為做快速熱處理設備開發可行性評估，其中關鍵技術為溫度均勻性與溫度量測的部份，因此本篇主要在說明快速熱處理設備溫度均勻性、溫度量測的方法與初步規劃目標。