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::: 研發成果

研究報告

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【年度】99 年研發成果
【項目】 研究報告
【領域】 關鍵技術科專
【類別】 機電運輸
計畫名稱 薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展三年計畫
報告名稱 快速熱處理設備開發可行性評估報告
撰寫人 許鴻川 林銘俊 潘文珏
性質 技術
內容摘要 一、前言 二、快速熱處理設備溫度量測可行性 三、快速熱處理設備製程目標與規格 四、結論